ساخت میکروسکوپ تداخلی میرائو و ‏تحلیل طرح تداخلی آن با به کارگیری انواع روش های تغییر فاز

در این پژوهش با استفاده از تداخل سنج میکروسکوپی میرائو‏، نوعی میکروسکوپ تداخلی چیده و ساخته شد که از آن برای بررسی شکل و ابعاد ناهمگنی سطحی استفاده شد. از جمله اندازه گیری های انجام شده توسط این میکروسکوپ‏، ارتفاع دیواره ی صد نانومتری بود. همچنین از این میکروسکوپ برای‏ اندازه گیری زاویه ی تماس قطره ی آب با حجم کسری از نانولیتر‏، روی سطح شیشه ی سودا-لایم استفاده شد. برای تحلیل فریزهای تداخلی ناشی از سطوح از روش تغییر فاز استفاده شد و به منظور ایجاد تغییر فاز سه روش مختلف که بر پایه ی تغییر ضریب شکست‏، تغییر راه نوری و تغییر طول موج استوار بود‏، پیشنهاد شد.