مطالعه ی خواص کانونی و تصویرگیری تیغه ی منطقه ای فرنل تصحیح شده

در این پایان نامه خواص کانونی و تصویر گیری تیغه ی منطقه ای فرنل با ساختار بدیعی از تیغه ی فرنل‏، بررسی شده است. به علت محدودیت تکنیکی در ساخت تیغه های منطقه ای فرنل با قطرهای بزرگتر‏، این قطعات قابل تولید نیستند. چرا که چاپ در لیتوگرافی برای نوارهای روشن تیغه ی منطقه ای فرنل‏ با پهنای کوچکتر از 20-40 نانومتر امکان پذیر نیست. بنابراین روشی را معرفی می کنیم که در آن با ثابت بودن فاصله ی کانونی‏، تیغه ی منطقه ای با قطر بزرگتر را تولید کرده به نحوی که می توان تا هر مقدار دلخواه‏، قطر این قطعه را افزایش داد. در این کار‏، تیغه ی منطقه ای فرنل به سه ناحیه تقسیم بندی شد‎‎ه و برای حلقه های روشن در هر ناحیه پهنای مشخصی در نظر گرفته شده است. برای رفع محدودیت لیتوگرافی‏، اندازه ی مشخصه ی باریک ترین حلقه ی روشن‏، 40 میکرو متر معرفی شده است. بنابراین در تمامی نمونه ها‏، تعداد حلقه های روشن ناحیه ی 1‏، ثابت است. با تغییر دادن تعداد حلقه های روشن نواحی 2 و 3 به نحوی که تعداد کل حلقه های روشن مقدار ثابت n باشد‏، توزیع شدت گاوسی با پهنای کم و در نتیجه بیشینه ی مرکزی تیزتر حاصل شده است. به این ترتیب قدرت تفکیک هم افزایش قابل توجهی یافته است.