طراحی و اصلاح سیستم تطبیق و جبران منابع تغذیه راکتورهای پلاسما

چکیده: در این رساله انواع راکتور های پلاسما مورد بررسی قرار می گیرد، در انواع مختلف این راکتور ها، پلاسما خاصیت خازنی شدید نظیر راکتورهای پلاسمای تخلیه روشن همگن فشار اتمسفر و کرونا و یا خاصیت سلفی شدید مانند راکتورهای پلاسمای کوپل القایی را دارا می باشد در نتیجه انتقال توان از منبع سوئیچینگ به بار به طور کامل صورت نمی گیرد. بدیهی است ا نتقال توان تأثیری در مشخصات دائمی پلاسما ندارد اما موجب می شود برای آغاز تغییر، به توان راه اندازی بالاتری نیاز باشد. بدین منظور از میان راکتورهای مورد بررسی قرار گرفته ، به این علت که راکتورهای پلاسمای تخلیه روشن در فشار اتمسفر کار می کنند و مشخصات تخلیه dc را دارا هستند انتخاب شده و مورد تحلیل بیشتری قرار گرفته است. در این نوع راکتور ، ابتدا مدل ریاضی و مداری از این راکتور ارائه شده و با تحلیل این مدل جریان و ولتاژ خروجی راکتور نسبت به پارامتر های شبکه تطبیق امپدانس مورد بررسی قرار می گیرد. سپس مدل دقیق تری از منابع تغذیه را بیان می کند. برای جبران هارمونیک های جریان خروجی از یک فیلتر اکتیو استقاده می شود. در انتها نیز به کمک روش سروومکانیسم بهینه جبران کننده ای طراحی و در مدار بکاربرده می شود و ولتاژ خروجی را رگوله سازی می کند.