طراحی و شبیه سازی سیستم اندازه گیری فواصل نانومتری مبتنی بر تداخل سنج لیزری هتروداین با کاهش اثرات غیرخطی
پایان نامه
- وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه تربیت دبیر شهید رجایی
- نویسنده سمانه حامدی
- استاد راهنما سعید علیایی رضا ابراهیم پور
- تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
- سال انتشار 1388
چکیده
با توسعه صنعت نیم¬رسانا برای ساخت بسیاری از ادوات تجاری و صنعتی در ریزمقیاس¬ها و مدارهای مجتمع با ابعاد نانو نیاز به وجود سیستم¬های اندازه¬گیری جابه¬جایی دقیق وجود دارد. تداخل¬¬سنج لیزری یک سیستم رایج اندازه¬گیری در ابعاد نانومتری در فرآیندهای ساخت مدارهای مجتمع است. با کاهش محدوده اندازه¬گیری، خطای ناشی از محیط، قطعات نوری و غیره اهمیت پیدا می¬کند. در این پایان¬نامه تاریخچه و اصول کلی تداخل¬سنج¬های لیزری، انواع منابع خطا در سیستم-های اندازه¬گیری ابعاد نانومتری بررسی می¬شود. همچنین روش¬های مدل¬سازی و کاهش خطای غیرخطی متناوب در تداخل¬سنج¬های لیزری هتروداین بررسی می¬شود. در نهایت یک سیستم اندازه¬گیری بر مبنای تداخل¬سنج لیزری هتروداین سه مود با حساسیت چهار برابر نسبت به سیستم¬های رایج دو مود طراحی شده و خطای غیر¬خطی ناشی از قطبش بیضوی و نامتعامد بودن پرتوهای لیزر ورودی به روش¬های میدانی و ماتریس¬های جونز مدل¬سازی می¬شود. خطاهای ذکر شده با یک صفحه تاخیر¬دهنده ساده به میزان قابل توجهی نسبت به سیستم¬های رایج قبلی کاهش می¬یابد. در ضمن خطای آمیختگی فرکانسی ناشی از بیضی بودن و عمود نبودن پرتوهای لیزر قطبیده، عدم همراستا بودن لیزر و جدا¬کننده پرتو، عدم همراستا بودن پلارایزرقطبنده با زاویه 45 درجه و ضرایب انتقال متفاوت در جداکننده پرتو، در سیستم¬های رایج با استفاده ماتریس¬های جونز مدل¬سازی شده و کاهش یافته است. همچنین در این پایان¬نامه، از الگوریتم¬های متفاوت ساده و ترکیبی شبکه¬های عصبی برای مدل¬سازی و جبران¬سازی خطا در تداخل¬سنج¬های لیزری دو مود استفاده شده است. بخش الکترونیکی سیستم که وظیفه تقویت سیگنال خروجی و دریافت فرکانس تداخلی ثانویه است نیز به¬صورت مدار مجتمع طراحی می¬شود.
منابع مشابه
اندازه گیری جابجایی فاز به روش تداخل سنج قطبشی هتروداین در حسگر تشدید پلاسمون سطحی
از میان روشهای مختلف اندازه گیری مبتنی بر پلاسمون سطحی، آشکارسازی فاز موج پلاسمون سطحی یکی از دقیق‌ترین و حساس‌ترین روش‌ها به‌حساب می‌آید. فاز موج را می توان با دقت مناسبی به روش های مختلف تداخلی اندازه گیری نمود. در این پژوهش ابتدا فاز و شدت موج پلاسمون سطحی شبیه سازی شده و سپس با پیاده سازی چیدمان آزمایشگاهی تداخل سنج قطبشی هتروداین تغییر فاز موج پلاسمون سطحی و پاسخ آن نسبت به عامل خارجی (تغ...
متن کاملجبران سازی خطاهای غیرخطی در تداخل سنج های لیزری هتروداین با استفاده از فیلترهای تطبیقی
توسعه صنعت و فن آوری منجر به کاهش ابعاد قطعات شده و حساسیت و دقت بیشتر در سامانه های اندازه گیری را به همراه آورده است. نانومترولوژی یک ضرورت برای همه شاخه های نانوفن آوری به شمار می رود. در واقع روش های اندازه گیری برای مواد معمولی در بسیاری از موارد نمی تواند به سادگی در نانوساختارها استفاده شود و استفاده از سیستم های اندازه گیری جابه جایی با دقت بالا الزامی است. یکی از انواع سیستم های نانوم...
جبران سازی خطاهای غیرخطی در تداخل سنج های لیزری هتروداین با استفاده از فیلترهای تطبیقی
توسعه صنعت و فن آوری منجر به کاهش ابعاد قطعات شده و حساسیت و دقت بیشتر در سامانه های اندازه گیری را به همراه آورده است. نانومترولوژی یک ضرورت برای همه شاخه های نانوفن آوری به شمار می رود. در واقع روش های اندازه گیری برای مواد معمولی در بسیاری از موارد نمی تواند به سادگی در نانوساختارها استفاده شود و استفاده از سیستم های اندازه گیری جابه جایی با دقت بالا الزامی است. یکی از انواع سیستم های نانوم...
15 صفحه اولطراحی و شبیه سازی شتاب سنج حرارتی MEMS با حساسیت بهینه شده و قابلیت اندازه گیری شتاب در دو محور
در این مقاله، یک میکروحسگر شتاب با طرحی ساده، هزینه ساخت پائین، حجم و وزن کم و همچنین حساس به شتاب‌های بسیار کوچک با قابلیت اندازه‌گیری شتاب در دو محور طراحی شده است. در طرح پیشنهادی از روش حرارتی - همرفتی برای اندازه‌گیری شتاب استفاده شده است. این میکرو حسگر شامل یک المان گرم‌کننده (هیتر) و دو جفت حسگر دما (دیتکتور) می‌باشد. با اعمال شتاب در راستای محور X یا Y دمای دیتکتورها متناسب با شتاب اعم...
متن کاملمقایسه تأثیر وضعیت طاق باز و دمر بر وضعیت تنفسی نوزادان نارس مبتلا به سندرم دیسترس تنفسی حاد تحت درمان با پروتکل Insure
کچ ی هد پ ی ش مز ی هن ه و فد : ساسا د مردنس رد نامرد ي سفنت سرتس ي ظنت نادازون داح ي سکا لدابت م ي و نژ د ي سکا ي د هدوب نبرک تسا طسوت هک کبس اـه ي ناـمرد ي فلتخم ي هلمجزا لکتورپ INSURE ماجنا م ي دوش ا اذل . ي هعلاطم ن فدهاب اقم ي هس عضو ي ت اه ي ندب ي عضو رب رمد و زاب قاط ي سفنت ت ي هـب لاتـبم سراـن نادازون ردنس د م ي سفنت سرتس ي لکتورپ اب نامرد تحت داح INSURE ماجنا درگ ...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه تربیت دبیر شهید رجایی
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023