Replication of sub-100 nm structures using h- and s-PDMS composite stamps
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
ذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Microsystem Technologies
سال: 2013
ISSN: 0946-7076,1432-1858
DOI: 10.1007/s00542-013-2043-1