Numerical study on the fluid dynamical aspects of atomic layer deposition process

نویسندگان
چکیده

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

a study on the design of bio-ethanol process from date wastes of sistan and baluchistan province

اتانول کاربردهای متنوعی در صنایع لاستیک سازی، رنگسازی، حلالها ومکمل سوخت خودرو دارد. اتانول برخلاف نفت از جمله مواد تجدیدپذیر محسوب می شود که مشکلات زیست محیطی و آلودگی نیز ایجاد نمی کند. استفاده از اتانول به عنوان مکمل سوختخودروها از جمله مهمترین مصارف صنعتی این ماده بشمار می رود. با توجه به این موضوع تحقیق و توسعه در زمینه تولید اتانول با درجه خلوص بالا در سطح جهان، و نه تنها در کشور های پیشر...

Atomic Layer Deposition of Ru and Ruo 2 : New Process

Title of Document: Atomic Layer Deposition of Ru and RuO2: New Process Development, Fabrication of Heterostructured Nanoelectrodes, and Applications in Energy Storage Keith E. Gregorczyk, Doctor of Philosophy, 2013 Directed By: Professor Gary W. Rubloff, Minta Martin Professor of Engineering, Department of Materials Science & Engineering and Institut...

متن کامل

the effect of consciousness raising (c-r) on the reduction of translational errors: a case study

در دوره های آموزش ترجمه استادان بیشتر سعی دارند دانشجویان را با انواع متون آشنا سازند، درحالی که کمتر به خطاهای مکرر آنان در متن ترجمه شده می پردازند. اهمیت تحقیق حاضر مبنی بر ارتکاب مکرر خطاهای ترجمانی حتی بعد از گذراندن دوره های تخصصی ترجمه از سوی دانشجویان است. هدف از آن تاکید بر خطاهای رایج میان دانشجویان مترجمی و کاهش این خطاها با افزایش آگاهی و هوشیاری دانشجویان از بروز آنها است.از آنجا ک...

15 صفحه اول

First principles study of the atomic layer deposition of alumina by TMA-H2O-process.

Atomic layer deposition (ALD) is a coating technology used to produce highly uniform thin films. Aluminiumoxide, Al2O3, is mainly deposited using trimethylaluminium (TMA) and water as precursors and is the most studied ALD-process to date. However, only few theoretical studies have been reported in the literature. The surface reaction mechanisms and energetics previously reported focus on a gib...

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films

سال: 2018

ISSN: 0734-2101,1520-8559

DOI: 10.1116/1.5018475