Mechanism of Thermal Oxidation of Silicon Substrates

نویسندگان
چکیده

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

investigation of thermal comfort properties of woven sport fabric using blend of estabragh fibers

امروزه لباس در نظر ورزشکاران و کسانی که برای اوقات فراغت خود و یا برای رسیدن به اندامی متعادل، ورزش می کنند؛ بسیار با اهمیت است. احساس مطلوب از لباس در زمره خصوصیات راحتی پوشش می باشد. خصوصیات انتقال رطوبت لباس، در ارزیابی راحتی حسی و حرارتی منسوجات تولید شده از آن ها بسیار مهم است. هدف از این تحقیق، معرفی پارچه جدید است که متشکل از الیاف استبرق با خواص منحصر به فرد می باشد. استبرق لیف طبیعی تو...

‏‎suppression of coke formation in thermal cracking by coke inhibitors‎‏

‏‎the main purpose of this research was to:1.develop a coking model for thermal cracking of naphtha.2.study coke inhibition methods using different coke inhibitors.developing a coking model in naphtha cracking reactors requires a suitable model of the thermal cracking reactor based on a reliable kinetic model.to obtain reliable results all these models shall be solved simultaneously.for this pu...

15 صفحه اول

Accurate Simulation of Mechanical Stresses in Silicon During Thermal Oxidation

The aim of this paper is to present viscoelastic models to accurately simulate mechanical stresses which result from volume expansion during thermal oxidation or temperature ramps in silicon technology. Comparisons are made with wafer curvature measurements and it is shown that mechanical stresses can explain the "anomalously" fast initial regime during dry oxidation, without involving any addi...

متن کامل

Mechanism of Platinum-Enhanced Oxidation of Silicon at Low Temperatures

of current literature on the platinum metals and their alloys

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Journal of the Japan Institute of Metals and Materials

سال: 1990

ISSN: 0021-4876,1880-6880

DOI: 10.2320/jinstmet1952.54.1_33