Inner Spacer Engineering to Improve Mechanical Stability in Channel-Release Process of Nanosheet FETs

نویسندگان

چکیده

Mechanical stress is demonstrated in the fabrication process of nanosheet FETs. In particular, unwanted mechanical instability stemming from gravity during channel-release covered detail by aid 3-D simulations. The simulation results show physical weakness suspended nanosheets and impact thickness. Inner spacer engineering based on geometry elastic property are suggested for better stability. formation wide contact area between inner nanosheet, as well applying rigid dielectric material, preferred.

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

stability and attraction domains of traffic equilibria in day-to-day dynamical system formulation

در این پژوهش مسئله واگذاری ترافیک را از دید سیستم های دینامیکی فرمول بندی می کنیم.فرض کرده ایم که همه فاکتورهای وابسته در طول زمان ثابت باشند و تعادل کاربر را از طریق فرایند منظم روزبه روز پیگیری کنیم.دینامیک ترافیک توسط یک نگاشت بازگشتی نشان داده می شود که تکامل سیستم در طول زمان را نشان می دهد.پایداری تعادل و دامنه جذب را توسط مطالعه ویژگی های توپولوژیکی تکامل سیستم تجزیه و تحلیل می کنیم.پاید...

Silicon multi-nanochannel FETs to improve device uniformity/stability and femtomolar detection of insulin in serum.

Here we demonstrate the use of multiple Si nanochannel (NC) or nanograting (NG) instead of the conventional single nanochannel or nanowire design in biosensors. The NG devices can significantly reduce device-to-device variation, and improve device performance, e.g. higher current, higher ON/OFF ratio, smaller subthreshold slope, lower threshold voltage Vt in buffer solution. NG devices also res...

متن کامل

A simulation study of calcium release channel

The IP3R calcium release channel has been simulated using a stochastic simulation algorithm (SSA;Gillespie algorithm) and De young-Keiser model. A set of different concentration for Cat' and IP3 havebeen used. Considering the Number of molecules in each state, a non linear behavior of the system can beseen clearly. The inhibiting role of the Ca+2 on the open state (X110) has been studied. The d...

متن کامل

risk taking in english to persian translation process by novice iranian translators

این پژوهش به بررسی ریسک پذیری مترجمان تازه کار در طی فرآیند ترجمه از زبان انگلیسی به فارسی می پردازد. پژوهش درباره مترجمان به عنوان اولین خواننده متن مبدا از اهمیت به سزایی برخوردار است. مترجمان تازه کار (و حرفه ای) در طی فرآیند ترجمه با مشکلات متعددی روبرو می شوند که باعث عدم اطمینان آنها از متن ترجمه شده می شود. با توجه به اینکه عدم اطمینان به انجام ریسک منتهی می شود، هدف این پژوهش بررسی کیفی...

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Electronics

سال: 2021

ISSN: ['2079-9292']

DOI: https://doi.org/10.3390/electronics10121395