در این پایان نامه یک فیلتر mems دیسکی با فرکانس مرکزی 1.9ghz و ضریب کیفیت 20000 طراحی و شبیه سازی شده است در صورتی که فیلترهای مشابه موجود حداکثر دارای فرکانس 934mhz و ضریب کیفیت 6000 بوده اند.برای شبیه سازی ها نیز از نرم افزارهای matlab, adsو ansys استفاده شده است. برای رسیده به هدف مورد نظر در این پایان نامه از تغییر شکل ظاهر فیلتر و تغییر جنس مواد به کار رفته در ساخت آن استفاده شده است.