چکیده : در ساخت لایه های نازک در سال های اخیر تحولات وسیعی صورت گرفته است ، که خود ناشی از پیشرفت در فناوری خلاء، تولید میکروسکوپ های الکترونی و ساخت وسایل دقیق و پیجیده ی شناسایی مواد است. مطرح شدن مباحثی نظیر میکرو الکترونیک، اپتیک و نانو فناوری مدیون اهمیت پوشش لایه های نازک می باشد. با توجه به عملکرد و خواص لایه های نازک ، می توان از آن ها مخصوصاً جهت بهبود فناوری هایی ، نظیر سلول های خورشیدی استفاده نمود. لایه های نازک فلزی و ترکیبات رسانای شفاف به دلیل خواص منحصر به فرد نوری و الکتریکی در صنایع، توجه بسیاری از پژوهشگران را به خود جلب کرده اند. در راستای این تحقیقات ما به بررسی خواص نوری و الکتریکی لایه های نازک فلزی و برخی ترکیبات شفاف رسانا می پردازیم. در این تحقیق روش های لایه نشانی ، روش های اندازه گیری مقاومت الکتریکی لایه های نازک و ویژگی های اپتیکی را برای برخی فلزات بیان کرده ایم ،که تغییرات ضریب شکست و ضریب خاموشی آن ها را در طول موج های مختلف در حالت توده ای به دست آورد ه ایم ، و مقایسه محاسبات این تغییرات با رسم نمودار در حالت لایه نازک را مورد بررسی و تفسیر قرار داده ایم. برای بعضی فلزات ضرایب بازتاب و تراگسیل درحالت توده ای و لایه نازک را محاسبه نموده ایم. سپس نمودار های مربوط به تغییرات آن ها را رسم کرده ایم، تغییرات ضرایب بازتاب و تراگسیل آن ها ، در طول موج های مختلف به ضریب شکست و خاموشی بستگی دارند. همچنین خواص الکتریکی و اپتیکی لایه های ito بر حسب ضخامت وگرمادهی نیز مورد بررسی قرار گرفته است.