هدف از این پایان نامه طراحی و ساخت میکروپلاسما در فشار اتمسفر و بررسی پارامترهای هندسی آن می باشد. این نوع از پلاسما دارای کاربردهای تجاری، صنعتی و پزشکی زیادی می باشد. سیستم های طراحی شده در این پایان نامه متشکل از دو الکترود است که یک لایه دی الکتریک در وسط آنها قرار دارد. برای دستگاه جت میکروپلاسما الکترودهای استفاده شده از جنس استیل به ضخامت 2/3 میلی متر و به قطر 16 میلی متر است و چهار نوع دی الکتریک (تفلون نسوز، فیبرفشرده، سرامیک و میکا) هم قطر با الکترود را بکار گرفته ایم و تأثیر تغییر دی الکتریک را بر جت خروجی بررسی کرده ایم. نشان داده شد که هرچه ضریب دی الکتریک و نقطه ذوب دی الکتریک بالاتر باشد مدت زمان کارکرد دستگاه بیشتر و جت خروجی یکنواخت تر است. برای تولید میکروپلاسمای سطحی که نوعی از آن محرک پلاسمایی است از دو روش استفاده کرده ایم. الکترودهای بکار گرفته شده در این حالت از جنس مس به ضخامت 1 میلی متر و دی الکتریک از جنس تفلون نسوز به ضخامت1میلی متر می باشد. در این آزمایش تأثیر تغییر فاصله بین الکترودی بر میکروپلاسمای تولید شده مورد بررسی قرار گرفت. نشان داده شد که اگر فاصله بین الکترودی خیلی کم و یا خیلی زیاد باشد سیستم شروع به کار نخواهد کرد و در یک فاصله معین می-توانیم میکروپلاسمای سطحی یکنواختی داشته باشیم. همچنین نشان داده شد که اگر جریان گاز از حدی کمتر باشد میکروپلاسما تشکیل نخواهد شد و با افزایش جریان گاز میکروپلاسمای تولید شده افزایش می یابد و اگر جریان گاز از حدی بالاتر رود میکروپلاسمای تولید شده ثابت می ماند و دیگر افزایش نمی یابد. تمامی آزمایش ها را دو مرتبه یک بار با گاز آرگون و بار دیگر با هوا تکرار کرده ایم.