میکرو تداخل سنج توری در طیف سنج های تبدیل فوریه مورد استفاده قرار می گیرد. تداخل سنج طراحی شده به صورت صفحه ای با استفاده از لیتوگرافی نرم بر روی بستر پلیمری pdms ساخته می شود. هدف تداخل سنج اندازگیری سیگنال تداخل نما است که این سیگنال با حرکت متناوب توری بدست می آید. بهترین گزینه برای ایجاد حرکت متناوت در تداخل سنج پیزوالکتریک pzt-5h با ضخامت 100 میکرومتر است و با اعمال ولتاژ 154 ولت به پیزوالکتریک اختلاف مسیر نوری 50 میکرومتر بدست آمد. برای طول موج های 3 و 0.8 میکرومتر و همچنین طیف ناحیه مادون قرمز نزدیک تداخل نما محاسبه شد. ابعاد تداخل سنج طراحی شده 17 میلی متر است.