اسپری پایرولیزز یک پیشنهاد مفید برای بدست آوردن فیلم های نازک اکسید روی است. این روش مورد توجه خاصی است زیرا به سادگی انجام می شود و هزینه پایین و تولید ضایعات حداقلی از مزایای آن است. اسپری پایرولیزز پوشش دهی در سطح گسترده را امکان پذیر می سازد و به کارگیری این روش در خط تولید صنعتی آسان است. با اسپری پایرولیزز، محلول مستقیما بر روی زیرلایه اسپری می شود. یک جریانی از گاز، به عنوان مثال هوای فشرده می تواند به تبدیل محلول به قطرات ریز از طریق دهانه کمک کند. هدف از این تحقیق مطالعه نقایص ساختاری نانولایه های اکسید روی تهیه شده به روش اسپری پایرولیزز با استفاده از محلول استات روی می باشد. سیستم اسپری پایرولیزز برای بدست آوردن فیلم های نازک اکسید روی بر روی زیرلایه شیشه ای استفاده شده است و ساختار بلوری و نقایص اپتیکی آن با استفاده از پراش پرتوی ایکس، تصاویر میکروسکوپ اتمی، طیف سنجی (uv-vis) و طیف فوتولومینسانس بررسی می شود