این تحقیق یک روش ترکیبی بر اساس روش های فرآیند تحلیل سلسله مراتبی (ahp) و تحلیل پوششی داده ها (dea) برای اندازه گیری میزان کارایی طرح استقرار کارخانه ارائه می دهد. در ابتدا برنامه های کامپیوتری برای ایجاد آلترناتیوهای طرح استقرار کارخانه به کار گرفته شد تا واحدهای تصمیم گیری (dmu) را به صورت مقادیر کمی ارائه کند. سپس مقادیر عملکردی کیفی با استفاده از ahp وزن دهی شدند و بعنوان خروجی واحدهای تصمیم گیری (dmu) در نظر گرفته شده اند. سپس مسئله تحلیل پوششی داده ها وارد حل می شود. در نهایت کیفیت روش پیشنهادی با اعمال بر روی یک مطالعه موردی بررسی شده است. با توجه به ماهیت مسأله از میان مدل های dea ، مدل جمعی ورودی- خروجی محور به عنوان مدل تحقیق برای ارزیابی کارایی انتخاب شد. در این تحقیق واحدهای کارا با در نظر گرفتن یک واحد فرضی ایده آل رتبه بندی شده اند. نتایج تحقیق بیانگر میزان بهبود هزینه حمل و نقل به اندازه 8 درصد و نسبت شکلی به میزان 2 درصد نسبت به وضعیت موجود می باشد و امتیاز طرح نسبت به طرح اسقرار فعلی افزایش میابد.