در این پایان نامه به مطالعه ریخت شناسی سطح، خواص ساختاری و اپتیکی نمونه های اکسید تنگستن (wo3) بدون آلایش و با آلایش اکسید مولیبدن پرداخته می شود. جهت رشد لایه های نازک از روش های اسپری پایرولیزیز و هیدروترمال استفاده گردید. برای مشخصه یابی نمونه ها از دستگاه های میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (fe-sem)، پراش پرتو ایکس(xrd) و طیف سنجی uv-vis استفاده شد. پارامترهای مورد مطالعه در روش اسپری پایرولیزیز عبارتند از: دمای زیرلایه (300، 350، 400، 450 و ℃500)، غلظت محلول اولیه (01/0، 02/0، 04/0، 08/0، 1/0 وm 2/0)، حجم محلول (50، 100، 150 و ml200)، پالسی انجام دادن اسپری با غلظت های 01/0، 1/0، m2/0 و افزودن آلایش اکسید مولیبدن به نمونه ها با درصدهای مولی متفاوت (1%، 10%، 20%، 40% و 50%). تصاویرfe-sem نمونه ها رشد میکرو الیاف ریشه مانند با توزیع یکنواخت را در سراسر نمونه نشان می دهد که با افزایش آلایش به صورت نانو صفحات شکل می گیرند. الگوی پراش پرتو ایکس بدست آمده برای نمونه های بدون آلایش و همچنین در مقادیر کم آلایش حاکی از طبیعت آمورف نمونه هاست که با افزایش تراکم آلایش و غلظت محلول اولیه با ساختار بس بلوری رشد می کنند. طیف عبوری و بازتاب لایه ها نشان گر شفافیت قابل توجه نمونه ها در ناحیه مرئی است و گاف نواری مستقیم نمونه ها در حدود ev 3/3 محاسبه شد. در نمونه های رشد داده شده به روش هیدروترمال از زیرلایه شیشه و لایه های بذری رشد داده شده به روش اسپری پایرولیزیز استفاده شد. در این بخش تاثیر زیرلایه های مختلف، تاثیر ماده پایدار کننده و همچنین مدت زمان فرآیند هیدروترمال بررسی شد. نتایج نشان دهنده ی ساختار تک میلی و شش گوشه ی نمونه ها بود. همچنین تصاویر fesem نمونه ها نشان دهنده ی رشد نانو ورقه ها و نانو صفحات می باشد.