روش نیتریداسیون پلاسمایی به کمک دستگاه پلاسمای کانونی در سالهای اخیر مورد توجه بسیاری قرار گرفته است. به کمک این روش میتوان ویژگیهای سطحی فلزات مختلف را دستخوش تغییر کرد و خواص تریبولوژیکی، از جمله سختی و مقاومت این سطوح را در برابر سایش افزایش داد.در کار حاضر از دستگاه پلاسمای کانونی بعنوان چشمه پالسی یونهای پر انرژی با گاز کاری نیتروژن جهت بمباران و نیتریده کردن نمونهها استفاده شده است . از روی دیاگرامهای حاصل از پراش پرتو ایکس قبل و بعد از بمباران یونی، امکان نیتریداسیون و سپس مشخصهیابی پیکهای نیترید مولیبدن انجام شد. به دلیل نیتریداسیون نمونهها و تاثیرات نیتریداسیون در افزایش میزان سختی، به کمک روش سختی سنجی ویکرز به بررسی میزان تغییرات سختی نمونههای تهیه شده در تعداد شاتهای مختلف پرداخته شده است.در روش حاضر به دلیل حضور شار پلاسمایی داغ و اندرکنش این شار پلاسمایی با سطح نمونهها و در نتیجه ایجاد تغییرات سطحی در نمونهها از جمله ذوب شدگی موضعی، ایجاد ترکها و پستی و بلندیهایی برروی سطح نمونهها، به کمک میکروسکوپ الکترونی روبشی به مطالعه مورفولوژی و توپوگرافی سطح پرداخته شده است .