در این پژوهش، فیلم های نازک پنتا اکسید وانادیم خالص و آلاییده شده با تنگستن به روش سل ژل غوطه وری بر روی بستر شیشه تهیه شدند. تأثیر غلظت تنگستن و دمای بازپخت بر روی مشخصات اپتیکی، ساختاری و مورفولوژیکی فیلم ها با استفاده از طیف سنجی uv-vis، پراش پرتو ایکس، طیف سنجی تبدیل فوریه، میکروسکـوپ الکتـرونی روبشی(sem)، میکروسکوپ نیروی اتمی(afm)، و طیف سنجی رامان بررسی شد. با آلاییدن تنگستن، تراگسیلندگی فیلم ها افزایش و اندازه کریستالیت ها و مقدار زبری(rms) کاهش یافت. بر طبق مشاهدات sem، با افزایش میزان آلایش تنگستن، ساختار های میله-گونه روی سطح شکل گرفتند. همچنین دریافتیم دمای بازپخت نقش مهمی در خصوصیات رفتاری فیلم دارد. به طوری که با افزایش دمای بازپخت، کریستالیت ها رشد می کنند و مقدار زبری افزایش می یابد. از سوی دیگر با زیاد شدن دما تراگسیلندگی کاهش می یابد. نتایج sem نشان می‏دهد که با افزایش دما نانو دانه‏ها در فیلم‏های نازک پنتا اکسید وانادیم آلاییده شده با تنگستن شکل می‏گیرد.