نانو ذرات دی اکسید تیتانیوم به روش سل ژل در آزمایشگاه سنتز شدند و اثر عوامل مختلفی مانند نوع الکل و تاثیر ph و اثر امواج مایکروویو بر روی اندازه و فازهای بلوری این نانو ذرات مورد بررسی قرار گرفت . مشخصات نانو ذرات توسط پراش پرتو ایکس و میکروسکوپ الکترونی روبشی مورد بررسی قرار گرفته اند . با توجه به نمودارهای به دست آمده از پراش پرتو ایکس فازهای بلوری نانو ذرات در مواردی آناتاز و درمواردی روتایل گزارش شد. اندازه و مورفولوژی نانو ذرات نیز توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی به دست آمد و یکی از نمونه هایی که از نظر اندازه کوچک تر و یکنواخت تر بود و در فاز آناتاز قرار داشت جهت لایه نشانی توسط تفنگ الکترونی انتخاب و از آلومینیوم جهت الکترود ها استفاده شد که ضخامت الکترود اول 45nm و دی اکسید تیتانیوم 20nm و الکترود دوم 23nm بود . سپس قطعه مورد نظر به عنوان حسگر گاز o2 مورد استفاده قرار گرفت و در انتها درصد حساسیت قطعه نسبت به این گاز مشخص شد .