ازآنجایی که میرایی ترموالاستیک عامل محدودکننده ضریب کیفیت در رزوناتورهای میکرو الکترومکانیکی است، در این پایان نامه با استفاده از روشهای تحلیلی، رفتار دینامیکی این سیستم ها تحت اثر این میرایی با بهره گیری از تئوری های غیر کلاسیک ترموالاستیسیته مطالعه می گردد. در ابتدا با در نظر گرفتن شرایط آدیاباتیک و ارتعاشات هارمونیک برای یک میکرو تیر دوسرگیردار، از حل تحلیلی معادلات ترموالاستیسیته، رابطه ای صریح برای ضریب کیفیت بر مبنای سه تئوری معتبر غیر کلاسیک شامل تئوری های لرد-شلمن، گرین-لیندسی و گرین- نقدی نوع استخراج می گردد. در ادامه این پژوهش، یک میکرو رزوناتور با استفاده از تئوری تیر اویلر برنولی و تئوری لرد-شلمن تحت بارگذاری مکانیکی و حرارتی مدل سازی می شود. سپس معادلات حاکم به کمک یک روش بسیار کارآمد به صورت تحلیلی حل می گردند.