ارتعاشات صفحه ای، ارتعاشاتی هستند که راستای حرکت و جابجایی ها در راستای انتشار موج است بر خلاف ارتعاشات عرضی که راستای حرکت و جابجایی ها عمود بر راستای انتشار موج می باشد. در این پایان نامه، ترموالاستیک دمپینگ ارتعاشات صفحه ای یک صفحه مستطیلی که از اطراف کاملاً گیردار شده، بررسی شده است و از روش گلرکین برای حل سه معادله کاپل شده گرما و جابجایی استفاده کرده ایم. برای این کار ابتدا ارتعاشات آزاد بدون اثر میرایی ترموالاستیک را بررسی کرده ایم و دو معادله کاپل شده جابجایی را از روش گلرکین حل کرده ایم و با مقایسه فرکانس بدست آمده با مقالات مشابه، تأئید خوبی بر نتایج بررسی خود بدست آوردیم، سپس به بررسی میرایی ترموالاستیک پرداخته ایم. برای بررسی ضریب کیفیت ترموالاستیک دمپینگ، از مواد رایج در mems استفاده شد و نحوه تغییرات ضریب کیفیت با تغییرات ابعاد میکرو صفحه ها و دمای محیط بررسی شده است. نتایج بدست آمده نشان می دهد به کارگیری ارتعاشات صفحه ای، این امکان را به ما می دهد که به خاطر بالا بودن ضریب کیفیت این ارتعاشات، بتوان از رزوناتورهای با مصرف انرژی کم استفاده کرد.