در این پایان نامه استفاده از ویژگی های تفرق نور لیزر و روش های پردازش تصاویر دیجیتال را برای اندازه گیری برخی ویژگی های سطح زیرلایه های نیمرسانا مورد ارزیابی و بررسی قرار می دهیم و به معرفی چند روش ساده، سریع، ارزان و دقق مبتنی بر خواص تفرق نور لیزر برای اندازه گیری پارامترهای سطح زیرلایه های مورد استفاده در ساخت لیزرهای نیمه هادی می پردازیم. به این منظور ابتدا به معرفی مفاهیم ریاضی پارامترهای متبط با کیفیت سطح و مشخصا مفهوم ناصافی می پردازیم و سپس برخی از روش های و دستگاه های مرسوم برای اندازه گیری این کمیت را معرفی نموده و مزایا و معایب هر یک را شرح می دهیم. آنگاه رروشهای سنجش مبتنی بر تفرق نور لیزر را بررسی کرده و با ویژگی ها، قابلیت ها و محدودیت های آنها آشنا می شویم.