در این پروژه، اثر آلایش مس بر روی خواص فیزیکی لایه های اکسید روی رشد یافته به روش افشانه پایرولیزز، تحت شرایط مختلف مورد بررسی قرار گرفت. در این مطالعه مشخص شد که تغییر در غلظت مس به عنوان ناخالصی، پارامتر مهمی در تعیین خصوصیات فیزیکی و ساختاری لایه های zno می باشد. کمترین مقاومت ویژه به دست آمده در شرایط بهینه (ml 40 محلول 5/0 مولار با نرخ شارش گاز 22) قبل از افزایش آلایش مس با تغییرات دمای زیرلایه ?600-450، cm?? 805/0 با شفافیت 83% در ناحیه مرئی می باشد و در شرایط بهینه (ml 40 محلول با دمای زیرلایه ?600 نرخ شارش گاز 22) قبل از آلایش مس با تغییرات غلظت روی 5/0-1/0 مولار،کمترین مقاومت در حدود cm??138/0 با شفافیت 88% در ناحیه مرئی می باشد. پس از افزایش آلاینده مس در شرایط بهینه (ml 40 محلول 5/0 مولار با نرخ شارش گاز 22 با دمای زیرلایه ?600)با تغییرات غلظت ازat.% 1-0 (at.%1 و 00286/0 ، 00224/0 ، 000451/0 ، 000224/0 ، 0) مقاومتcm ?? 144/0 و شفافیت 84% در ناحیه مرئی دارد. از آنالیزهای میکروسکوپی الکترونی روبشی، برش مقطع عرضی و عنصر شناسی برای بررسی خواص لایه ها استفاده شده است.