در این تحقیق فیلم های نازک اکسید روی با تکنیک لایه نشانی چرخشی سل- ژل بر روی زیرلایه ی سیلیکنی با صفحه ی ترجیحی(0 0 4 )، لایه نشانی شد. خواص ساختاری، اپتیکی و مورفولوژی سطح آنها به ترتیب با استفاده از اندازه گیری های پراش پرتو ایکس (xrd)، طیف سنجی فوتولومینسانس (pl) و میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدان (fesem) بررسی شد. دمای بازپخت 600 درجه سانتی گراد انتخاب شد. نتایج حاصله بیانگر وجود ساختار ورتسیت اکسید روی بدون جهت گیری ترجیحی می باشد. طیف pl در ناحیه مرئی فقط گسیل بنفش مربوط به طول موج حدود 423 نانومتر رانشان می دهد.مورفولوژی سطح نانو لایه ها، دانه های کروی شکل در اندازه ی تخمینی 5/ 117تا 120 نانومتر را نشان می دهد