در این تحقیق، نانوچندلایه vo2:cu به روش کندوپاش مغناطیسی بر بسترهایی از جنس شیشه و فولاد ضدزنگ لایه نشانی گردید. برای این منظور از اهداف وانادیمی و مسی با خلوص 99/99 درصد استفاده شد. همچنین پس از لایه نشانی، عملیات حرارتی در اتمسفرهای اکسیژن و هوا روی نمونه ها انجام شد. جهت دستیابی به استوکیومتری مورد نظر پارامترهای فشار و اتمسفر کندوپاش تغییر داده شده و دمای بستر حین فرایند، مطابق با دمای محیط ثابت گردیده و در نهایت دو نوع پوشش vox-cu-vox و cu-vox-cu در محدوده ضخامتی 2/5 میکرون لایه نشانی گردید. ترکیب، مورفولوژی و ریزساختار پوشش ها با استفاده از آنالیزهای xrd، afm و fesem مورد بررسی قرار گرفت. بهترین rms مربوط به پوشش vox-cu-vox بوده و 2/58 نانومتر گزارش شد. با بررسی ریزساختار، یکنواختی در پوشش مشاهده شد و دانه بندی آن تعیین گردید. پایداری فازی دمابالا، به وسیله عملیات حرارتی در دماهای oc500 و 700 بررسی شده و مطلوب مشاهده گردید. خواص مکانیکی پوشش ها توسط آنالیز نانواثرگذاری مورد بررسی قرار گرفت و بهترین خواص مکانیکی مربوط به پوشش vox-cu-vox بوده که دارای بیشترین نانوسختی به مقدار gpa12 و کمترین مدول یانگ مؤثر به میزان gpa57 و بالاترین به مقدار 0/32 مشاهده گردید.