آلودگی‏های زیست‏محیطی و صنعتی در سطح وسیع، توجه را به استفاده از تکنولوژی‏های پاک شیمیایی و دوستدار محیط زیست کشانده است. تکنولوژی غشاها یکی از این موارد می باشد. غشاهای سرامیکی گونه ای از غشاهای مصنوعی هستند که از مواد معدنی شامل چندین لایه تشکیل شده اند . آنچه باعث مزیت غشاهای سرامیکی شده پایداری حرارتی زیاد، مقاومت شیمیایی ومیکروبیولوژیکی مناسب، مقاومت مکانیکی خوب، .توانایی شستشوی معکوس موثر، عمر طولانی، قابلیت استفاده مجدد و خاصیت کاتالیستی آن می باشد. لذا در جاهایی که غشاهای پلیمری به واسطه ضعفشان نمی توانند استفاده شوند غشاهای سرامیکی می توانند جایگزین مناسبی باشند. در این تحقیق پایه غشاهای سرامیکی به روش ریخته گری دوغابی تهیه شده و لایه میانی گاما آلومینا به روش تهنشینی و نانوپوشش نهایی اکسید تیتانیم به روش کندوپاش لایه نشانی گردیدند . یکنواختی نانو لایه نهایی اکسید تیتانیم در این نوع غشاها بسیار مهم بوده زیرا عمل جداسازی توسط همین لایه صورت میگیرد. کنترل دقیق ضخامت نانو لایه موردنظر و یکنواختی توزیع اندازه ذرات نانو از مزایای روش کندوپاش میباشد. اثر توان rf کندوپاش و زمان لایهنشانی با استفاده از میکروسکوپ الکترونی عبوری بر ریز ساختار غشاها مشاهده شد و بهترین لایهنشانی جهت ساخت غشای عملیات تست نفوذپذیری انتخاب گردید. با توجه به نتایج مربوط به آنالیز xrd رشد tio2 به صورت پلی کریستالی و در فاز آناتاز بوده است. نتایج نشان داده اند که شار و تراوایی غشای دارای لایه میانی گاما آلومینا و لایه نهایی tio2 لایهنشانی شده به روش کندوپاش نسبت به نمونه پایه افت بسیاری داشته است. همچنین کلیه نتایج بدست آمده مربوط به غشای دارای لایه tio2 لایه نشانی شده به روش اسپاترینگ با روش های دیگر از جمله سل-ژل و هیدروترمال، مقایسه شدند.

در این تحقیق، نانوچندلایه vo2:cu به روش کندوپاش مغناطیسی بر بسترهایی از جنس شیشه و فولاد ضدزنگ لایه نشانی گردید. برای این منظور از اهداف وانادیمی و مسی با خلوص 99/99 درصد استفاده شد. همچنین پس از لایه نشانی، عملیات حرارتی در اتمسفرهای اکسیژن و هوا روی نمونه ها انجام شد. جهت دستیابی به استوکیومتری مورد نظر پارامترهای فشار و اتمسفر کندوپاش تغییر داده شده و دمای بستر حین فرایند، مطابق با دمای محیط ثابت گردیده و در نهایت دو نوع پوشش vox-cu-vox و cu-vox-cu در محدوده ضخامتی 2/5 میکرون لایه نشانی گردید. ترکیب، مورفولوژی و ریزساختار پوشش ها با استفاده از آنالیزهای xrd، afm و fesem مورد بررسی قرار گرفت. بهترین rms مربوط به پوشش vox-cu-vox بوده و 2/58 نانومتر گزارش شد. با بررسی ریزساختار، یکنواختی در پوشش مشاهده شد و دانه بندی آن تعیین گردید. پایداری فازی دمابالا، به وسیله عملیات حرارتی در دماهای oc500 و 700 بررسی شده و مطلوب مشاهده گردید. خواص مکانیکی پوشش ها توسط آنالیز نانواثرگذاری مورد بررسی قرار گرفت و بهترین خواص مکانیکی مربوط به پوشش vox-cu-vox بوده که دارای بیشترین نانوسختی به مقدار gpa12 و کمترین مدول یانگ مؤثر به میزان gpa57 و بالاترین به مقدار 0/32 مشاهده گردید.