در این پایان نامه با توجه به قابلیت های نانواکسیدهای فلزی برای کاربرد در حسگرها، اکسید تنگستن با ساختار نانو جهت استفاده بعنوان ماد? حساس حسگرِ رطوبت تهیه شد؛ و با استفاده از ابزارهای sem و xrd مورد شناسایی قرار گرفت. نتایج نشان داد که ساختار اکسید تنگستن سنتز شده بصورت کره¬هایی در ابعاد 3 تا 7 میکرو متر هستند که سطح کره¬ها دارای تخلخلهای نانومتری فراوان در ابعاد 10 تا 60 نانومتر می باشد. ماده تهیه شده بر روی مدار الکترود انگشتی لایه نشانی شد. قابلیت استفاده از این نانو ساختارها برای حسگر رطوبت مورد بررسی قرار گرفت. رفتار مقاومتی این حسگر در مقادیر مختلف رطوبت نشان داد که با افزایش میزان رطوبت نسبی محیط مقاومت حسگر کاهش می یابد. با افزودن نانو ذرات نقره بصورت ناخالص سازی سطحی حساسیت حسگر افزایش یافت. زمان پاسخ حسگر 2 ثانیه و زمان بازگشت به حالت اولیه حدود 7 ثانیه اندازه¬گیری شد که در مقایسه با کارهای مشابه بهبود چشمگیری را نشان می دهد. همچنین حساسیت mω/rh%414/4در بازه 20-50% رطوبت نسبی و mω/rh% 0/681 در بازه 50% تا 90% بدست آمد که نسبت به کارهای مشابه بهبود نشان می دهد.