چکیده: فرایند کانال زنی استهلاکی بر پایه حل معادله فوکر- پلانک است. دینامیک چگالی توزیع الکترون¬¬ها در عمق بلور به دو عامل انرژی و توزیع پراکندگی اولیه الکترون¬ها وابسته است. تاثیر فرایند کانال زنی استهلاکی الکترون روی شدت طیف تابش کانالی برای الکترون¬ها در صفحات مختلف بلورهای سیلیکون و ژرمانیم و کربن بررسی شده است.