بی شک یکی از مهمترین پیشرفت های قرن اخیر ساخت و تولید سیستم های میکرو الکترو مکانیکی بوده است که با پیشرفت های زیادی در زمینه های تولید و ساخت همراه بوده است.یکی از مهمترین آن ها سنسورهای میکروتیری هستند.این حسگرها از یک میکرو کانتیلور جهت تشخیص برخی از گازها استفاده میکنند. اصول کار به این شکل است که با عملیاتی بر روی سطح یک میکرو تیر یک سر گیردار این تیر نسبت به گاز خاص موجود در هوا حساس میشود و آن را جذب مینماید.با اندازه گیری میزان خمش یا تغییرات فرکانس این تیر میتوان در خصوص غلظت گاز موجود در هوای اطراف و محیط اظهار نظر کرد. روش های اندازه گیری میزان خیز یا فرکانس دارای مشکلات زیادی بوده اند بنابرابن در این مطالعه پیشنهاد شده است که با ارائه یک خازن صفحه موازی متغیر و اعمال ولتاژ حساسیت سیستم افزایش یابد لذا رفتار الکترو استاتیکی و دینامیکی تیر مورد بررسی قرارا گرفته است و با کاهش ثابت فنر حساسیت سنسور نسبت به حضور گاز افزایش یافته است.همچنین آنالیز فرکانسی جهت تشخیص میزان گاز جذب شده انجام گرفته است.در ضمن نشان داده شده است که افزایش ولتاژ اولیه فرکانس ها را بیشتر قابل حس میکند.هرچند تاثیر مهمی در تغییرات فرکانس ندارد اما دامنه نوسان ارتعاش را افزایش می دهد.با تغییر ماده جاذب روی سطح میکرو تیر میتوان سنسور را به گاز خاص دیگری حساس نمود.سنسورهای میکرو الکترو مکانیکی دارای یک بخش الکتریکی نیز هستند که داده های سنسور را بخواند.معمولا یک مدار cmos طراحی و تعبیه می شود. در این پایان نامه در مجموع در فصل اول به معرفی سیستم های میکرو الکترو مکانیکی حسگرها و نانو حسگرها و در فصل دوم میکرو سنسورها معرفی شده اند در فصل سوم مروری بر کارهای گذشته انجام گرفته است.در فصل چهارم به تشریح مدل پرداخته شده است و در فصل پنجم به حل معادلات حاکم و ارائه مدار الکتریکی روی سنسور و تشخیص پارامترهای موثر بر روی حساسیت انجام گرفته است. واژکان کلیدی: میکرو سنسور?اندازه گیری خازنی،حساسیت،آنالیز فرکانسی