امکان برداشت لایه به لایه اتمها بخصوص در مواردی که لایه های سطحی جزء آلاییدگی های بلور باشد (صیقل کاری)، با انتخاب متغیرهای مناسبی از جمله انرژی و زاویه اشعه یونی تابیده، باعث پیشرفتهای قابل توجهی در علوم مهندسی وابسته به آن شده است. در پایان نامه حاضر سعی بر آن است توزیع زاویه ای و انرژی اتمهای واتراییده نقره و اکسیژن از سطح بلور نقره را بررسی کنیم. برای این کار از یونهای با انرژی در محدوده پنج تا ده کیلو الکترون ولت استفاده می کنیم. و سعی می کنیم در دو حالت سطح بدون آلاییدگی و سطح آلاییده با اکسیژن، متغیرهای مناسبی را ارایه نماییم. روش به کار رفته با استفاده از کد مبتنی بر روش کلاسیکی برخوردهای دوتایی بوده و پتانسیل بکاررفته در حالتهای فوق به ترتیب بیرزک-زیگلِر-لیتمارک و فیرسُف می باشد و اتمهای پس زنی تنها در لایه های اول تا سوم مورد توجه قرار گرفته اند.