میکرو تیر به حالت معلیق است ، و مجهز با الکترودهای سطحی فوق العاده نازک.لایه های پیزوالکتریک از طریق ضخامت با تحریک پیزوالکتریک لایه پیزو . همچنین با استفاده از ولتاژ الکترواستاتیک به بستر ثابت میکرو پرتو تحت تحریک فشار الکترواستاتیک است.معادلات الکترومکانیکیحاکم بر مسئله بر اساس تیراویلر برنولی و بر اساس معادلات الکترواستاتیک ماکسول مشتق شده است.