در این تحقیق تشکیل فاز نیترید نقره از طریق کاشت یون نیتروژن روی صفحات نقره مورد مطالعه قرار گرفته است. بدین منظور صفحاتی به ابعاد 15x15x1mm از نقره خالص توسط یون‏های نیتروژن با انرژی 50kev با دُزهای مختلف بمباران شد. آزمایش بر روی دو سری از نمونه‏ها انجام گرفت. در سری اول کنترلی بر روی دمای نمونه‏ها در هنگام کاشت وجود نداشت و بر اثر برخورد یون‏های پُر انرژی نیتروژن، دمای نمونه‏ها در بیشتر آزمایش‏ها از 250?c هم تجاوز کرد. نتایج حاصل از آنالیز xrd این نمونه‏ها که در ذُزهای بین 1x1017 ions/cm2 تا 2x1018 ions/cm2 بمباران شده بودند تغییر مطلوبی در ساختار کریستال نمونه نقره نشان نداد. از مقایسه طیف xrd نمونه شاهد با نمونه‏های کاشت شده در این سری از آزمایش‏ها، نتیجه گرفته می‏شود که برخورد یون‏های پر انرژی باعث تضعیف صفحه ترجیحی کریستال نقره و نیز کاهش شدت پیک‏ها شده بود که ناشی از آمورف شدن سطح نقره بر اثر کاشت یون می‏باشد. افزایش دمای نمونه در هنگام کاشت باعث افزایش نرخ کندوپاش سیستم ag-n شده و نیتروژن وارد شده در شبکه کریستالی نقره، فرصت تجمع پیدا نمی‏کند. در سری دوم از آزمایش سعی شد با استفاده از خنک‏کننده آبی دمای نمونه کنترل شود در هنگام آزمایش دما بیشتر از 38°c نشد در حالی که بقیه شرایط آزمایش مشابه آزمایش‏های سری اول بود. نتایج بدست آمده از آنالیز xrd نشان می‏دهد که در دُز 1x1018 ions/cm2 قبل از بازپخت تغییر قابل مشاهده‏ای در طیف نقره دیده نمی‎شود ولی با افزایش دُز به مقدار 2x1018 ions/cm2 پیک‏های ضعیفی علاوه بر پیک‏های نقره خام، در طیف xrd نمونه قابل رویت شد که مربوط به فاز آزید نقره تشخیص داده شد. آنالیز xps نمونه های کاشت شده با دُزهای مختلف نشان می‏د‏هد که غلظت نیتروژن در نمونه‏ها با افزایش دز نیتروژن افزایش یافته است و از تجزیه پیک‏های مربوط به نقره در طیف xps نمونه‏ها، تشکیل ترکیبات نیتروژن و نقره در نمونه‏های کاشت شده قابل تشخیص است و با افزایش دز میزان فراوانی این ترکیبات هم افزایش یافته است ولی این ترکیبات به صورت آمورف بوده و در طیف پراش اشعه ایکس به روشنی دیده نمی‏شود. با بازپخت نمونه‏های کاشت شده، فازهای آمورف به فاز کریستالی تبدیل شده و فازهای جدید علاوه بر فاز نقره خام در طیف آنالیز پراش اشعه ایکس دیده شد. این تحقیق نشان داده است که هر چند روش‏های متداول دیگر در مهندسی سطح برای تشکیل فاز نیتریدی فلزات نجیب با مشکلات مواجه‏اند، روش کاشت یون به عنوان یک روش غیر تعادلی در دز مناسب قادر به تشکیل فاز نیتریدی فلزات نجیب (در اینجا نقره) می‏باشد.