در این پایاننامه به بررسی اصول علمی ، طراحی و بهینه سازی مهندسی ژیروسکوپ های ارتعاشی میکروالکترومکانیکی memsپرداخته می شود. این پایان نامه پس از مروری مختصر بر فناوریmemsبه بررسی پارامتر های مهم در ساختار این نوع از وسایل می پردازد ودر ادامه ژیروسکوپ های ارتعاشی معرفی شده و به اصول طراحی کلی و عمومی مکانیکی و الکتریکی ژیروسکوپ های ارتعاشیmemsپرداخته می شود. مسئله انطباق مد های تحریک و تشخیص، عوامل موثر بر کارایی همچون فرکانس های تشدید، پهنای باند، میرایی و ضریب کیفیت بررسی شده و مدلسازی های مختلفی انجام و مورد بحث قرارمی گیرد. این پایان نامه با رویکرد مقاوم سازی مکانیکی ژیروسکوپ در مقابل تغییرات محیطی و ساختاری، به عنوان یک ایده و روش جدید، سعی در بهینه سازی سیستم ژیروسکوپ دارد.