در این تحقیق ویژگی های ساختاری، الکتریکی و اپتیکی فیلم های نازک اکسید روی آلائیده با آلومینیم را روی یک زیرلایه ی شیشه ای، به روش سل- ژل با تکنیک لایه نشانی چرخشی مورد بررسی قرار داده ایم. اثر اضافه کردن آلومینیم روی ساختار کریستالی فیلم های zno به روش پراش سنجی اشعهx مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج xrd فاز چندکریستالی با یک ساختار هگزاگونال از فیلم ها را بعد از بازپخت در دمای ?450 به مدت1 ساعت نشان داده اند. هیچ قله ی اضافی مربوط بهal_2 o_3 یا ناخالصی های دیگر، در آن ظاهر نشده است که نشان می دهد یون های آلومینیم یون های آلومینیم به درستی مکان هایی را در شبکه نسبت به دیگر مکان ها اشغال کرده اند. میانگین اندازه بلوری فیلم های zno:al توسط فرمول شرر محاسبه شده است. تصاویر sem-edax، حضور آلومینیم در فیلم های نازک zno را تأیید کرده اند. تکنیک چهار- نقطه، برای مشخص کردن ویژگی های الکتریکی فیلم های نازک استفاده شده است. نتایج آن نشان داده اند که مقاومت ویژه فیلم های نازک به آسانی به غلظت آلومینیم وابسته است. یک مقاومت ویژه کمینه، حدود ?.cm0.02 برای فیلم آلائیده با آلومینیم 1at.%، مشاهده شده است. با افزایش غلظت آلومینیم به بالای 1at.%، مقاومت ویژه بطور قابل توجهی شروع به افزایش کرده است. ویژگی های اپتیکی و تغییر در گاف نواری اکسید روی با اضافه کردن آلومینیم توسط اسپکتوفتومتری ماوراء بنفش – مرئی بررسی شده است. با افزایش غلظت آلومینیم لبه ی جذب uv انتقال آبی یافته است که افزایش در گاف نواری را نشان می دهد. این جابجایی گاف نواری به عنوان انتقال moss–burstein شناخته می شود.