در این تحقیق لایه های نازک سیستم دوتایی اکسید تنگستن – اکسید وانادیوم بر روی بسترهای شیشه ای به روش شیمیایی اسپری پایرولیزیز تهیه شدند. اثر ناخالصی وانادیوم، دمای بستر و فرایند بازپخت بر روی خواص ساختاری، مورفولوژی سطحی و خواص اپتیکی لایه های نازک اکسید تنگستن بررسی شد. آنالیز xrdنشان داد که لایه ها قبل از بازپخت ساختاری آمورف دارند. فرایند بازپخت باعث بهبود نظم بلوری لایه ها می شود و لایه ها بعد از حرارت دهی ساختاری بس بلور دارند. این لایه ها شامل فازهای مختلفی از اکسید تنگستن و وانادیوم مانند wo3، w5o14، w18o49،w19o55،v2o5 ،?-v2o5،v6o13و vo1.27می باشند. تصاویر میکرسکوپ الکترونی روبشی(sem) تشکیل ذرات در مقیاس نانو و به شکل نانو میله هارا نشان می دهد. این تصاویر نشان می دهد که با افزایش دمای بستر و بازپخت، اندازه ی ذرات بزرگ تر می شود. با افزایش دمای بستر، گاف نواری لایه ها در محدوده ev31/3 تا ev07/4 و ev36/3 تا ev15/4 ، قبل و بعد از بازپخت به دست آمد. هم چنین در مورد بررسی اثر ناخالصی وانادیوم گاف انرژی لایه ها در گستره ی ev02/3 تا ev34/3 و ev38/3 تا ev59/3 قبل و بعد از بازپخت به دست آمد.