اثر روش lsp بر روی خاصیت عبوری نمونه تهیه شده ، توسط طیف سنجی uv-vis-ir در محدوده ی طول موجی 1200-400نانومتر قبل و بعد از روشlspانجام پذیرفت.برای بررسی اثرات بر روی سطح ، قبل و بعد از اعمال روشlsp از سطح آن، تصویر sem گرفته شد.برای بررسی اثر روش lsp بر روی آستانه تخریب، نمونه تحت آزمون آستانه تخریب قرار گرفت. کیفیت آزمون آستانه تخریب در دو حالت برای نمونه در نظر گرفته شد.حالت اول ،نمونه با لایه شفاف(آب di)با ضخامتmm 1 پوشیده شد و تحت پالس های لیزر اگزایمر قرار گرفت ،در حالت دوم نمونه با لایه شفاف ضخیم تر (حدودmm2آب di) پوشانده شد و اثر آزمون آستانه تخریب برای این دو حالت با هم مقایسه شد.افزایش عبوردهی اپتیکی نمونه ها و افزایش آستانه تخریب نمونه ها نشان دهنده ی بهبود لایه های نازک بعد از اعمال روش lsp هستند.