فیلم‏های نازک اکسیدروی غیرآلاییده و آلاییده با آلومینیوم با تکنیک غوطه‏وری سل - ژل روی بستر شیشه‏ای نهشته شد. از استات‏روی به عنوان پیش ماده‏ی اصلی استفاده گردید. از اتانول خالص و دی‏اتانول‏آمین به ترتیب به عنوان حلال و پایدارساز استفاده گردید. منبع آلاینده نیز محلولی اتانولی از نیترات آلومینیوم بود. تاثیر غلظت آلاییدگی و اتمسفر محیط بازپخت بر ویژگی‏های اپتیکی، ساختاری و الکتریکی فیلم‏های تهیه شده بررسی گردید. همه‏ی نمونه‏ها شفاف بوده و عبور بالای 85% را در ناحیه مرئی نشان می‏دهد.‏ مقادیر پارامتر‏های اپتیکی چون ضریب خاموشی و ضریب شکست فیلم‏ها با استفاده از روش پوش منحنی محاسبه گردید. محاسبه‏ی گاف‏نواری نمونه‏ها، پهن‏شدگی آن را با افزایش غلظت آلاییدگی نشان می‏داد. ویژگی‏های ساختاری فیلم‏ها با استفاده از پراش پرتوی ایکس مورد بررسی قرار گرفت. نتایج ماهیت پلی‏کریستالی نمونه‏ها را نشان می‏داد. بلورک‏های تشکیل دهنده از یگانه فاز اکسیدروی با ساختار هگزاگونال ورتزایت تشکیل شده بودند و جهت‏گیری ترجیحی ضعیفی در راستای محور c مشاهده می‏شد. مورفولوژی سطح نمونه‏ها با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی و میکروسکوپ الکترونی روبشی مورد بررسی قرار گرفت. بررسی‏های صورت گرفته با میکروسکوپ نیروی اتمی و میکروسکوپ الکترونی روبشی سطوحی صاف و عاری از ترک‏خردگی را نشان می‏داد. مقدار زبری سطح nm 2.23 بدست آمد. ویژگی‏های الکتریکی فیلم‏ها با استفاده از تکنیک چهار نقطه‏ای ون-در-‏پاو اندازه‏گیری گردید. تابش فوتولومینسانس نمونه‏ها در دمای اتاق مورد بررسی قرار گرفت. دو قله تیز در ناحیه‏ی طول موج آبیnm 426 و nm463 مشاهده گردید. قله ی نسبتاً ضعیفی در ناحیه ی nm531 در طیف فوتولومینسانس نمونه‏ها دیده ‏شد.