در این کار تجربی فیلم‏های نازک اکسید وانادیم آلاییده شده با مولیبدن با روش سل-ژل و با حل کردن پودر v2o5 در آب اکسیژنه 15%)) تهیه شدند. پودر آمونیوم هپتامولیبدیت تترا‏هیدرات در مقداری آب مقطر حل شد و با محاسبه مقادیر آلاینده به سل اضافه شد و در نهایت سل قرمز- قهوه‏ای رنگی شکل گرفت. فیلم‏های نازک اکسید وانادیم آلاییده شده با مولیبدن در محیط‏های متفاوت تحت اتمسفر، گاز نیتروژن، اکسیژن و آرگون در دمای 45? باز پخت شدند و خواص اپتیکی و ساختاری آن‏ها مورد بررسی قرار گرفت. ثوابت اپتیکی (d, n ,k ,eg) با استفاده از روش بهینه سازی نامقید نقطه‏گرا و بر پایه طیف تراگسیل لایه‏ها محاسبه شده‏اند. افزایش میزان آلاینده، موجب افزایش گاف نواری فیلم‏هایی می‏شود که در نتیجه باز پخت در محیط اتمسفر به دست آمده‏اند. نتایج xrd نشان می دهند که با افزایش میزان آلاینده، شدت در راستای کریستالی (200) و همچنین اندازه بلورک‏ها کاهش می‏یابد. تصاویر sem ساختار میله‏ای را برای نمونه‏های آلاییده شده و غیرآلاییده بازپخت شده در محیط اتمسفر نشان می‏دهد درحالیکه در محیط باز پخت حاوی گاز نیتروژن و آرگون سطحی تقریبا" پکیده و صاف مشاهده می‏شود. با استفاده از روش 4پروب مقاومت ویژه برای درصدهای مختلف آلایش فیلم‏ که در محیط‏های نیتروژن، هوا، آرگون و اکسیژن بازپخت شده‏اند، اندازه‏گیری شده است. مطالعات نشان می‏دهند که در بازپخت تحت گاز اکسیژن با افزایش مقدار آلاینده مقاومت ویژه کاهش می‏یابد.