هدف اصلی در این پایان نامه طراحی میکرو حسگر کنترل از راه دور حرارتی با بررسی پاسخ دینامیکی و ارتعاشات غیر خطی است که در آن میکرو تیر یک سر گیر دار، از جنس مواد متغیر تابعی بوده و در معرض منبع حرارتی سینوسی قرار دارد.معادلات حرکت حاکم بر این مسئله بر اساس فرض اویلر برنولی بودن تیر و با استفاده از معادلات لاگرانژ و اصل همیلتون به دست آمده و معادلات ترموالاستیک با استفاده از قانون اول ترمودینامیک و بر اساس فرض انتقال حرارت کلاسیک فوریه استخراج شده است. به علت وابستگی مکانی نیروی الکترواستاتیک، متغیر با زمان بودن تابع حرارتی و همچنین ظاهر شدن تابع تحریک در ثابت معادلات حاکم بر مسئله به صورت مستتر این معادلات غیر خطی، کوپل و پارامتریک هستند.برای حل این معادلات ابتدا با استفاده از روش کاهش مرتبه گلرکین این معادلات تغییر شکل یافته و سپس به کمک روش رانگ-کوتا انتگرال گیری می شوند. با حل این معادلات به صورت عددی نواحی پایدار و ناپایدار برای ولتاژهای کاری مختلف مشخص شده و با انتخاب بعضی از نقاط ویژه در این مناطق و رسم نمودارهای پاسخ دینامیکی و فازی رفتار این نقاط به تفصیل مورد بررسی قرار خواهد گرفت. همچنین اثرات پایدار کننده ی در نظر گرفتن میرایی در سیستم مورد بحث و ارزیابی قرار خواهد گرفت.