پلاسمای تولید شده با امواج میکروموج نسبت به منابع دیگر پلاسما، میانگین انرژی و چگالی بالاتری دارد و به عنوان منبعی برای گونه های فعال، نظیر یون ها، رادیکال های آزاد و اتم های برانگیخته می باشد. توان منبع میکروموج می تواند در محدوده چند وات تا چند صدکیلووات باشد و برای تولید آن از گازهای مختلف (بی اثر یا مولکولی) استفاده می-شود. در این پایان نامه به تولید و بررسی جت پلاسمای میکروموج در فشار اتمسفر و اثر نوع گاز در ویژگی های حرارتی آن پرداختیم. برای تولید پلاسما از روش جذب تشدیدی امواج الکترومغناطیس توسط آنتن فلزی و به تبع آن یونیزه شدن گاز محیط اطراف آنتن استفاده کردیم. برای رسیدن به یک یونیزاسیون بالا از فرکانس 45/2 گیگاهرتز استفاده شد. نوع جت تولید شده با گازهای مختلف متفاوت بود. برای تحلیل و شناسایی گونه های موجود در جت پلاسما، اسپکتروسکوپی گسیل نوری(oes) انجام گرفت. در بیناب سنجی گسیل نوری نیز وجود گونه های واکنش پذیر اتمی، مولکولی خنثی و برانگیخته عناصر مختلف در جت پلاسمای آرگون و آرگون/نیتروژن تشخیص داده شد. جنس آنتن بر روی طول جت تأثیر چشمگیری داشت، به طوریکه در آنتن آلیاژ نیکل-آهن، بیشترین طول جت را مشاهده کردیم. در یک توان مشخص به ازای شارهای مختلف و بالعکس در یک شار ثابت به ازای توان های مختلف، تغییر محسوسی در طول جت مشاهده نشد.