نانو ذرات نیکل فسفر از طریق احیا در محیط قلیایی تولید گردید و طی فرایند آنیلینگ که یک فرایند گرمایی است، ساختار و ابعاد نانوذرات دگرگون شده و خواصی نظیر سختی و استحکام تغییر می کند. بطور معمول از کوره برای تغییر اندازه نانوذرات استفاده می شود. ذرات تولید شده در دمای 450، 250، 150، 110 درجه سانتیگراد و هر یک در زمان 3، 2، 1 ساعت در جو آرگون تحت عملیات حرارتی آنیل شده اند. بررسی های تغییر ساختار در دمای پایین و درمحیط حلال که آنرا به نوعی عملیا ت آنیلینگ شیمیایی می نامیم انجام گرفت. جهت آنیل شیمیایی، نمونه ها در یک بالن در دمای 130، 110، می باشد.90، 70 درجه سانتیگراد و هر یک در یک در زمانه ای 4، 3، 2، 1 ساعت تحت تقطیر برگشتی قرار گرفت. بررسی طیف های xrd و تصاویر tem نشاندهنده ی اینست که طی آنیلینگ حرارتی ، رشد ذرات 250 درجه سانتیگراد و در آنیلینگ شیمیایی 70 درجه سانتیگراد می باشد.