در این پایان نامه پس از بررسی ساختارهای گوناگون موجود برای حسگر اثرانگشت ساختار جدیدی برای حسگرهای اثرانگشت خازنی mems ارائه گردیده است، که با رفع ضعف های طرحهای پیشین و استفاده از نکات مثبت آنها موفق به افزایش حساسیت در اینگونه حسگرها شده است. حسگرهای خازنی از دو صفحه موازی که در فاصله ی معینی از هم قرار دارند تشکیل شده است. در این حسگرها تغییرات خازنی عامل بسیار مهمی در تعیین عملکرد آنها می باشد، که بر اثر جابجایی الکترود بالایی ایجاد می گردد. در این ساختار جدید با استفاده از ایجاد شکاف برروی الکترود بالایی، استفاده از برآمدگی t-شکل برروی دیافراگم بمنظور متمرکز کردن فشار ناشی از ناهمواریهای پوست انگشت، ایجاد حفره در الکترود پایینی برای کاهش مقاومت هوای درون فاصله هوایی، استفاده از ماده با استرس پایین برای ایجاد دیافراگم و جلوگیری از نفوذ ناخالصی به درون فاصله هوایی با استفاده از لایه پلی ماید موفق به طراحی ساختار جدیدی برای حسگر اثرانگشت mems با حساسیت بالا نسبت به ساختارهای گذشته شده ایم که همگی این عوامل در این پایان نامه از دو نظر جابجایی دیافراگم و خازن بین صفحات تحلیل، شبیه سازی و بررسی شده اند.