حسگرهای رطوبت از جمله مهمترین و پرکاربردترین حسگرهای گازی می باشند. در این تحقیق با استفاده از آلومینیم با خلوص 98 درصد (به دلیل قیمت پایین و استقامت در برابر ولتاژها و غلظت های خیلی بالا از آلومینیم ناخالص استفاده شد)، خواص حسگری آلومینای حفره دار ساخته شده به وسیله ی آندایز نرم در ولتاژ 195 ولت و آندایز نرم شتابدار در ولتاژهای 175 و 155 ولت مورد بررسی قرارگرفت. بررسی خواص حسگری به روش طیف سنجی امپدانس در رطوبت های 30 تا 90 درصد و با گام های 10 درصد و در فرکانس های 110، 510، 1100 و 5500 هرتز انجام شد. در ولتاژ 195 ولت از غلظت های الکترولیت 1/0 تا 9/0 مولار اسید فسفریک با گام های 2/0، و در ولتاژهای 175 و 155 ولت از غلظت-های 1 تا 3 مولار اسید فسفریک با گام های 5/0 مولار استفاده شد به این ترتیب تاثیر تغییر غلظت الکترولیت و ولتاژ ساخت بر روی خواص حسگری مورد مطالعه قرار گرفت. بهترین حسگری مربوط به حسگرهای ساخته شده در ولتاژ 175 و بهینه ی غلظت ها برای ولتاژهای 155، 175 و 195 به ترتیب 5/1، 1 و 5/0 مولار بدست آمد. بوسیله ی بررسی 5 حسگر ساخته ساخته شده در ولتاژ 175 و غلظت الکترولیت 3 مولار اسید فسفریک بهینه ی زمان عریض سازی این حسگرها 24 دقیقه بدست آمد. بهینه ی ولتاژ ساخت برای سه حسگر ساخته شده در غلظت 9/0 مولار اسید فسفریک نیز 175 ولت بدست آمد. زمان های پاسخ تمامی حسگرها از مرتبه ی چند ثانیه و زمان های بازیافت آنها کمتر از یک ثانیه بود. بنابراین این حسگرها در زمره ی حسگرهای سریع می باشند.