afm به این صورت کار می کنند که میله ای در طول سطح نمونه به طور پیوسته حرکت می کنند. با حرکت این میله (probe) نقشه برجستگی و یا ارتفاع اسکن می شود. ،البته این میله ها شکل های متفاوتی دارند و می توانند مورد استفاده قرار گیرند.معمولا این میله ها (probe) به صورت تیزی هستند و بر روی سطح نموه حرکت می کنند و پرو فایل نوک سوزن را می دهند که معمولا خطی است. afm، از قسمت های مختلفی تشکیل شده است.1- فرستنده لیزری 2- آشکار ساز نوری 3- پایه(cantilever) 4- میله(probe) 5- تراشه (پایه بر روی آن قرار می گیرد.)