هدف از این پژوهش دست‎یابی به فناوری ساخت قطعات میکرواپتیک و میکروالکترونیک می باشد. این پژوهش در دو مرحله انجام می‎شود. در مرحله اول ماسک و در مرحله دوم نمونه اصلی ساخته می‎شود. در مرحله اول ماسک با بزرگنمایی x8 نسبت به نمونه اصلی ساخته می‎شود. برای ساخت ماسک، طرحی به اندازه 40×40 میلی‎متر آماده و توسط دستگاه فوتوپلاتر با کیفیت 8000 نقطه بر اینچ چاپ شد. یک لایه فلز کروم به روش تبخیر حرارتی توسط باریکه الکترونی روی یک لام لایه‎نشانی و بر روی آن فوتورزیست پوزیتیو 20 لایه‎نشانی گردید. سپس پوزیتیو 20 با استفاده از دیودهای ماوراءبنفش، ماسک اولیه و دوربین عکاسی با کوچک نمایی x8 نوردهی شد. پس از نوردهی، فرایندهای ظهور و حکاکی انجام شد. در مرحله دوم ابتدا فوتورزیست map 1275 بر روی لام لایه‎نشانی شد. سپس نمونه اصلی به کمک ماسک ثانویه، میکروماشینی با کوچک نمایی x8 و لیزر اگزایمر نوردهی شد. بعد از نوردهی فرایند ظهور انجام و نمونه اصلی ساخته شد. نمونه اصلی شامل میکروحلقه‎ای به شعاع 55 میکرومتر، ضخامت 9 میکرومتر و دو موجبر به ضخامت 9 میکرومتر است. فاصله جفت‎شدگی، حلقه و موجبر 4 میکرومتر است.