در جریان گازهای رقیق، تعداد برخوردهای بین مولکولی جهت رسیدن به تعادل ترمودینامیکی کافی نمی باشد. همچنین، به دلیل تعداد کم مولکول ها در واحد حجم، فرض پیوسته بودن جریان معتبر نمی باشد. از همین رو، نمی توان از روش های معمول عددی که بر مبنای پیوستگی بنا نهاده شده است جهت پیش بینی رفتار جریان گازهای رقیق استفاده کرد. در تحقیق حاضر، قابلیت روش شبیه سازی مستقیم مونت کارلو در مطالعه عددی جریان گازهای رقیق درون میکرو کانال ها و همچنین حول باله های ماورای صوتی و استوانه های مستطیلی مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج بدست آمده از شبیه سازی جریان ماورای صوت درون میکرو کانال ها نشان می دهند که با کاهش فشار ورودی و همچنین با کاهش ارتفاع میکرو کانال، طول ناحیه ورودی کاهش می یابد. همچنین نتایج بدست آمده از شبیه سازی جریان های گازی حول باله های ماورای صوتی و همچنین جریان ماورای صوت حول استوانه های مستطیلی نشان می دهند که با کاهش عدد نادسن یک ناپیوستگی در میدان جریان رخ می دهد. نتایج بدست آمده از شبیه سازی جریان های گازی حول باله های ماورای صوتی نشان می دهند که با افزایش عدد نادسن، ضریب فشار در امتداد دیواره های باله کاهش می یابد.