تحقیقات در زمینه رشد لایه های نازک در طی سالهای اخیر پیشرفت چشم گیری داشته است و حاصل این تحقیقات کاربرد روز افزون لایه های نازک در زمینه های صنعتی می باشد. هدف این تحقیق شبیه سازی رشد لایه ها نازک است که بتوان با نتایج تجربی مقایسه کرد و اعتبار مدل های انتخابی مشخص شود. در این پژوهش مدل رشد rd دو بعدی را برای حالتی که رشد خوشه ای روی سطح صورت می گیرد مورد بررسی قرار می دهیم یعنی به جای یک ذره فرودی، همزمان چند ذره به صورت کاتوره ای فرود می آیند که منجر به رشد خوشه ای سطح می شود. همچنین مدل رشد bd یک بعدی با همبستگی بیش از یک همسایه را مورد ارزیابی قرار داده ایم. یعنی همسایه های مرتبه دوم هم در تعیین جایگاه بر آسوده شدن ذره اثر دارند. برای هر دو مدل رشد، شبیه سازی برای زیر لایه های مختلف را انجام داده ایم و نتایج حاصله را با کلاس جهانی مقایسه کرده ایم.