فرآیند ماشینکاری به روش تخلیه الکتریکی( edm)، یکی از فرآیندهای نوین ماشینکاری است که کاربردهای متنوعی در ساخت و تولید محصولات میکرومتری دارد. رشد و توسعه نانوتکنولوژی و نیاز به بهره گیری از روشهای جدید موجب شده است که جذبه زیادی برای استفاده از فرآیند edm در ساخت و تولید محصولات نانومتری ایجاد شود. فرآیند nano-edm یک فرآیند ماشینکاری حرارتی است که در آن از انرژی حرارتی حاصل از جرقه الکتریکی برای باربرداری استفاده می شود. بنابراین مدلسازی حرارتی فرآیندnano-edm از اهمیت بسیار بالایی برخوردار است. در این پایان نامه، به کمک روش حجم محدود و با استفاده از نرم افزارfluent 6.3 مدل حرارتی قطعه کار در فرآیندnano-edm و شبیه سازی نانوحفره های حاصل از فرآیند nano-edm، ارائه شده است. با استفاده از مدل حرارتی قطعه کار در فرآیند nano-edm ، توزیع حرارت در سطح و عمق قطعه کار برای مقادیر مختلف متغیرهای فرآیند nano-edm و ضخامتهای مختلف قطعه کار مدلسازی و با هم مقایسه شد. با مدلسازی مذکور فهم دقیقتری از این فرآیند حاصل شد که این امر می تواند راهگشای کاربرد بهتر آن گردد. به کمک شبیه سازی نانوحفره های حاصل از فرآیند nano-edm، شعاع و عمق نانوحفره برای مقادیر مختلف متغیرهای فرآیند nano-edm و ضخامت های مختلف بدست آمد و با هم مقایسه شد. با بررسی نرم افزاری تاثیر متغیرهای فرآیند بر ابعاد نانوحفره حاصل می توان مقادیر بهینه متغیرهای فرآیند برای دستیابی به نانوحفره دارای ابعاد مطلوب را پیش بینی نمود. این امر باعث می شود که از صرف هزینه و زمان زیاد لازم برای انجام فرآیند nano-edm به روش سعی و خطا جلوگیری شود.