استفاده از افزاره های الکترونیکی بر پایه نیمرساناهای گاف پهن بدلیل قابلیت های بالای آن به عنوان سنسور گازی با استقبال مواجه شده است. استفاده از این افزاره ها به عنوان سنسور گازی نسبت به سایر سنسورها دارای مزایایی چون: آشکارسازی گازها در غلظت بسیار پایین، قابلیت کارکردن در دماهای بالا و پاسخ دهی سریع تر می باشد. در این پایان نامه عملکرد سنسورهای هیدروژن فلز-نیمرسانا-فلز (msm) و فلز-عایق-نیمرسانا (mis) بررسی شده است. جریان تونل زنی در سنسورهای msm اندازه گیری شده است و عملکرد حسگری سنسورها در شرایط مختلف با هم مقایسه شده است. همچنین تغییرات ضریب ایده آل بودن با ولتاژ اعمال شده در سنسور msm برسی شده و اثر دما بر روی این تغییرات نیز در نظر گرفته شده است.