در این پایان نامه دو نوع سیگنال تحریک برای کاهش شارژ دی الکتریک سوئیچ های خازنی میکروالکترومکانیکی معرفی می شود. هر دو شکل موج پیشنهادی به گونه ای هستند تا میزان بار تزریقی منبع کاهش یابد. میزان بار به تله افتاده در دی الکتریک و سایر پارامترهای مرتبط برای شکل موج های پیشنهادی و شکل موج هایی که تا کنون معرفی شده به-صورت عددی و تحلیلی محاسبه می شوند. شکل موج سیگنال تحریک تاثیر بسزایی در زمان کلیدزنی دارد، از این رو با استفاده از روش المان محدود و توسط نرم افزار ansys زمان کلیدزنی برای تمام شکل موج ها محاسبه می شود. در هر دو روش پیشنهادی چگالی بار انباشتی کاهش خوبی داشته است، اما روش پیشنهادی دوم با عنوان پالس دوتایی شیب-دار از لحاظ چگالی بار انباشته شده و همچنین زمان کلیدزنی ارجحیت دارد