ماشین کاری تخلیه الکتریکی پروسه ای است که در آن مواد از طریق جرقه های الکتریکی بین الکترود و قطعه کار بصورت غوطه ور در سیال دی الکتریک به وسیله یک عمل سایشی برداشته می شود. این روش در سطح میکرونی برای ایجاد میکرو سوراخ و میکرو شیار را میکرو ماشین کاری تخلیه الکتریکی مینامند، روشedm یک روش الکتروترمال است و امکان ماشین کاری مواد رسانا بسیار سخت با هر استحکامی و تنش تسلیم بالایی را دارد. تنگستن کاربید از جمله موادی سخت و شکننده است که مقاومت به حرارت بالا و همچنین خوردگی بسیارکمی دارد، که می تواند در زمینه های قالب سازی، هوافضا، ابزارسازی و لوازم جراحی در علوم پزشکی کاربردهای بسیاری داشته باشد. در این تحقیق به بررسی پارامترهای میکرو سوراخ کاری تخلیه الکتریکی به منظور دستیابی به یک روند صحیح برای میکرو ماشین کاری تخلیه الکتریکی پرداخته شده است. در این پژوهش تنگستن کاربید باضخامت 300 میکرومتر و سختی 82hrc به عنوان قطعه کار انتخاب شده که با ساخت ابزاری با قطری کمتر از 150 میکرومتر از جنس تنگستن- مس (70% به30%)، با استفاده از طراحی آزمایش تاگوچی l16 برای پارامترهای ولتاژ، جریان الکتریکی، زمان روشنایی پالس، سرعت دورانی ابزار، زمان خاموشی پالس و نوع منبع تغذیه، میکرو سوراخ هایی با تلرانس استاندارد به قطر 〖0.23〗_(-0.05)^(+0.05) بر روی تنگستن کاربید ایجاد شده است، نرخ برداشت مواد، فرسایش ابزار و کیفیت لبه سوراخ مورد بررسی قرار گرفته و تحلیل آن ها ارائه شده است. در این تحقیق، در مدار rc نسبت به مدار ایزوپالس نتایج بهتری بدست آمده است و ولتاژ بالا، نرخ برداشت کمتر ولی سایش ابزار بیشتر را در برداشته است.